在线液体颗粒计数器应用场景与行业应用

在线实时监测式液体颗粒计数器

在线式液体颗粒计数器直接安装在工艺管线或循环回路中，持续监测流体中的颗粒污染情况。这类设备通常为固定式或面板安装式，可集成到自动化过程控制系统中。

操作流程

1. 将仪器连接至实时工艺流；
2. 仪器持续或定期对流体进行采样；
3. 生成实时颗粒数据，通常通过数据采集与监控系统（SCADA）、过程控制对象链接与嵌入（OPC）或以太网输出。

统计过程控制图 —— 工艺随时间的变化趋势

图注：标题为 “临床工艺 XYZ”，纵轴为 “观测值”，横轴为 “时间”，图中包含 “上控制限”“随机变异（普通原因）”“中心线”“下控制限”“可查明原因的变异（特殊原因）”）

数据点偏离中心线越远，其变异非随机的可能性就越高，找到可查明原因的概率也越大。

应用场景

• 注射用水（WFI）循环回路持续监测
• 在线清洗（CIP）验证
• 半导体超纯水系统监测
• 工艺趋势分析
• 设备磨损检测
• 过滤前与过滤后监测

优势

• 可即时检测工艺污染情况；
• 支持自动报警和过程控制反馈回路；
• 减少停机时间，提升过程控制水平；
• 适用于对颗粒污染控制要求极高的高纯度、高价值工艺。

局限性

• 初始安装和集成成本较高；
• 可能需要对流体兼容性进行评估；
• 传感器长期使用可能会结垢，需进行在线清洗或冲洗。

制药行业在线式液体颗粒计数器监测系统

• 应用场景：注射用水（WFI）、纯化水（PW）、在线清洗（CIP）监测
  在线式液体颗粒计数器监测循环水系统的水质，确保颗粒水平不超标，避免影响产品安全。
• 应用于注射用水（WFI）制备、储罐、循环回路以及产品接触表面的冲洗水监测。
• 遵循的标准与指南：
• 《美国药典》<1231> 章 “制药用水”：要求对关键回路进行持续监测；
• 《美国药典》<788> 章：虽专为成品检测设计，但可为设定可接受限值提供参考；
• 2022 年《欧盟药品生产质量管理规范》（EU GMP）附录 1：强调将关键公用设施（如水、蒸汽）监测纳入污染控制策略（CCS）。

医疗器械行业在线式液体颗粒计数器监测系统

• 应用场景：终洗水监测与清洗验证
  在线式液体颗粒计数器用于植入物和工具的清洗验证，尤其适用于终洗阶段。
• 对于与无菌区域或人体内部接触的器械（如导管、骨科器械），该监测至关重要。
• 遵循的标准与指南：
• ISO 19227：规定了植入物表面洁净度要求；
• ISO 15883：适用于清洗 / 消毒设备验证。

部件清洗 / 精密制造行业在线式液体颗粒计数器监测系统

• 应用场景：漂洗槽、闭环清洗及表面漂洗验证
  在线式液体颗粒计数器监测用于清洗发动机部件、光学镜片、航空航天零部件等的工艺流体。
• 应用于漂洗阶段，验证技术洁净度是否达标。
• 遵循的标准与指南：
• ISO 16232：汽车零部件洁净度标准；
• VDA 19.1：清洗过程验证的标准化标准。

半导体与微电子行业

• 应用场景：超纯水（UPW）、光刻胶漂洗、蚀刻液监测
  在线式液体颗粒计数器在超纯水分配系统和化学品输送管线中不可或缺。
• 监测尺寸≥50 纳米（nm）的颗粒，此类颗粒可能损坏晶圆或影响蚀刻过程。
• 遵循的标准与指南：
• SEMI C79：超纯水中颗粒水平标准；
• SEMI E253/SEMI E49：化学品洁净度标准；
• SEMI E10：在线设备的可靠性和运行时间指标。