什么是超纯水系统
水是一种极其强大的力量。我们看到它在陆地上开辟出一条路,形成令人惊叹的地理特征,如大峡谷。那么,水在您的系统中能做什么呢?超纯水系统清洁水 – 保持无颗粒 – 因此可用于制造过程中的清洁和蚀刻,尤其是在半导体行业。
使用超纯水的行业会消耗大量超纯水。例如,要加工单个晶圆,需要超过 3,000L 的水。因此,了解超纯水系统的工作原理、如何维护以及如何充分利用它以保持系统运行并防止产量损失非常重要。
超纯水系统可去除水中任何可能对用水对象造成伤害的污染物或污染物。例如,如果水被用来保持物体清洁和无污染,那么含有污染物的水就真的违背了目的。如果使用超纯水来蚀刻半导体,那么即使水中存在非常小的颗粒也可能对精密的半导体造成损坏。
虽然我们通常不认为水是脏的(毕竟我们用它来洗手),但超纯水系统的工作是真正使水足够干净,不会在微环境中造成任何问题。它通过化学反应和物理元素(如过滤器)的复杂混合物,通过 3 个阶段来实现:预处理、初级和精制。
超纯水系统分为三个阶段:预处理、初级和精制。
在预处理阶段,您可以获得基本的纯净水。根据您的系统,您可以使用两通道反渗透、脱盐和反渗透或高效反渗透 (HERO)。此外,还可以清除水中容易被过滤器捕获的任何大碎屑。此阶段还可能加入活性炭或亚硫酸氢钠来对水进行脱氯。
接下来,水进入初级处理阶段。在此阶段,水在紫外线下通过,并进行电去离子或混合床离子,以实现最大的脱盐效果。要完成此步骤,您可以使用膜或真空脱气去除溶解氧。
最后,也是最重要(但有时昂贵)的一步是创造超纯水。在这个阶段,紫外线和热交换用于控制超纯水供应中的温度。然后,使用不可再生离子交换与膜脱气和超滤相结合,真正将水过滤到必要的颗粒水平。
经过这三个阶段后,超纯水就可以在您的系统中使用了。
有许多行业使用超纯水系统。最常见的一种是半导体行业 – 使用超纯水进行清洁和蚀刻。在半导体行业,国际半导体技术路线图 (ITRS) 设定了清洁度的标准和未来目标。
超纯水也用于制药行业 - 产品完整性始终是最重要的考虑因素。制药行业的行业标准规定,制药用水中的溶解固体含量必须至少比标准饮用水中的溶解固体含量低 10,000 倍。基本上,饮用水不够干净,无法用于这些系统。对于制药,它必须是完全不含有机物质和细菌的。
相同的标准品用于实验室中使用的超纯水,用于处理组织样品、流式细胞术和热原敏感应用。它还具有高电阻率,非常适合在实验室环境中使用。但是,任何使用超纯水系统的人都需要知道,离开系统的水已经真正准备好在所需的环境中使用。水污染物可能导致产量损失、危险的污染和破坏。
您是否在超纯水系统适合您的环境中工作?如果是,那么您还应该投资购买优质的液体粒子计数器。
液体粒子计数器将监测您在设置中使用的超纯水,以确保它真正达到您的需要,以保持您的超纯水系统所达到的标准。
例如,Vertex 50 具有市场上较高的 50 纳米灵敏度,可实现真正的 50 纳米检测。它还为低错误计数率符合行业标准,同时具有创纪录的经过验证的清理时间,因此您可以在颗粒事故发生后快速恢复工作。这种粒子计数器的灵敏度使其成为半导体等受到高度监管的行业的理想选择,在这些行业中,即使是最小的颗粒也会造成损害。
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