我们经常谈论通过密切关注空气中的颗粒来监测洁净室的洁净度。但是，当空气中的颗粒不再通过空气中传播时会发生什么呢？这就是我们所说的粒子沉积。当颗粒沉积时，它会在洁净室中造成污染和混乱。因此，了解什么是颗粒沉积、它是如何发生的以及如何在洁净室中最大限度地减少或防止颗粒沉积非常重要。当颗粒沉积在表面上时，就会发生表面颗粒沉积。从本质上讲，粒子在空气中移动，更接近物体，直到进入“边界层”。这是直接围绕物理对象的空气层。有各种类型的机制将粒子从边界层转移到表面。在洁净室中，我们一直在监测空气中的颗粒物。这是我们监测清洁度的主要重点。但这意味着我们无法如此密切地监测表面颗粒。但这些颗粒也会在我们的洁净室中造成污染和干扰。因此，我们需要注意颗粒沉积以及如何防止它，以限制洁净室中的污染。颗粒沉积机制是颗粒穿过边界层沉积在表面上的一种方式。机制有八种：重力沉降、湍流沉积、静电吸引、布朗扩散、撞击、截留、涡轮电泳和热泳。
为了确定洁净室中最重要的机制，我们将研究通过关键观察和实验开发的一组数据。在这个实验中，我们使用了一个地板尺寸为6米乘4.2米的非UDAF洁净室。墙高2.7m，体积67.5m³。天花板上的九个风扇过滤装置供应空气。每台风机供应450m³/小时。仅使用两个风扇单元来确保颗粒沉积速率（PDR）足够高，以便完成实验并获得更高的颗粒浓度。他们提供的总供气量为900m³/小时，换气率约为13次/小时。
虽然我们在洁净室中看到了这些机制中的每一种，但最重要的是重力沉降、湍流沉积，在某些情况下还有静电吸引。对于小于约 0.5μm 的颗粒，布朗扩散也起了作用。由于粒子沉积发生在粒子从边界层转移到表面时，因此防止粒子沉积的方法是停止转移。因此，了解我们在洁净室中最常看到的颗粒和传输机制非常重要。引力沉降是指粒子由于重力的影响而沉降到表面上。对于较小的颗粒，这种情况发生得非常缓慢。例如，一个 0.5μm 的颗粒将以大约 0.0008 cm/s 的速率沉降。随着颗粒尺寸的增加，沉积速度与颗粒直径的平方成正比。在较大的颗粒中，这是主要机制。当空气湍流将颗粒沉积在表面上时，就会发生湍流沉积。当空气湍流更多时，更多的颗粒会沉积到表面上。最后，静电吸引是指具有相反电荷表面的粒子被拉在一起。大多数空气中的粒子和表面都有某种形式的电荷，因此我们确实看到了这一点。但由于洁净室结构的性质，我们只能在某些情况下看到它。从一开始就阻止颗粒进入洁净室首先，确保在颗粒进入洁净室之前将其阻止。我们经常看到大多数颗粒与人类一起进入，因此请仔细检查您的防护服协议并进行定期培训。还要监测空气中的颗粒物，以确保您的洁净室保持清洁。如果空气中没有颗粒，它们就不会沉积在表面上并造成污染。策略性地分层表面：一般来说，洁净室的设计可以避免关键表面出现较大的静电荷。这最大限度地减少了电磁粒子的吸引。您还可以通过使用电接地材料来最大限度地减少吸引力。正因为如此，在实验过程中，我们发现引力沉积是主要机制。因为它是主要机制，所以可以假设分层在另一个表面上的板会保护第二个表面。我们在洁净室中经常看到这种保护方法。然而，我们仍然在底面上看到了颗粒沉积。这是由于顶板和底板上方的空气湍流造成的。因此，我们看到了粒子在两个表面上的湍流沉积。因此，在设计表面时，重要的是要认识到底板将受到保护，不会受到静电吸引或湍流沉积的影响。设计您的洁净室时，不仅要考虑重力沉降。虽然这可能无法防止颗粒沉积，但它是处理沉积后果的重要方法。表面上的颗粒会导致污染，并对您的洁净室内容物构成风险。因此，使用洁净室安全产品定期擦拭表面。Lighthosue提供表面尘埃粒子监测方案，采用表面扫描探头+便携式尘埃粒子计数器方式进行表面颗粒检测，如下：
